对于接触式蔡司三坐标测量机，ISO标准用于衡量测量机精度有如下参数：

　　ISO 10360-2 用于测量线性尺寸的坐标测量机

　　通常人们最为关注的MPEe，指的是长度方向的最大示值误差，它能代表坐标测量机的精度能力，但并不能衡量这台测量机是否能满足用户的实际需求。

　　MPEel要求在测量机在4 个空间对角线和3个轴向位置分别对不同长度的标准器进行3次测量，标准器的长度不得小于测量机空间对角线的66%，要求所有测量值均满足：

　　MPLr0则代表最大允许长度测量重复性极限，代表了测量机的精确度。

　　ISO 10360-4 在扫描模式下使用的坐标测量机

　　ISO要求带有扫描功能的测量机，在验收或复检时，满足MPEthp和用时t，即按照要求对标准球进行规定路径的扫描，要求在t时间内完成扫描，并且MPEthp符合规范。

　　扫描路径：两条直径截面路径

　　ISO 10360-5 使用多探针探测系统的坐标测量机

　　ISO 10360-5 使用未用来标定探针的标准球作为标准器，其中单针探测误差如下定义：

　　多探针探测误差则使用5根不同方向的探针测量标准球，每根针测量25点，总共得到125个点。

　　PFTM多探针形状探测误差：

　　PSTM多探针尺寸探测误差:

　　PLTM多探针位置探测误差:

　　除ISO 10360规定的之外，坐标测量机还有圆度测量误差RONt的规定(ISO 12181