由于具备高分辨率，扫描电子显微镜(SEM) 能清楚地反映和记录材料的表面形貌特征，因此成为表征材料形貌最为便捷的手段之一。

　　尽管2D平面检测简单且有效，但有时可能会出现偏差。3D成像为研发人员提供了更为直观的检测结果，提高了电池的研发效率和性能。

　　其中，X射线显微镜技术如蔡司X射线显微镜的Xradia Versa系列，可以实现电池内部的高分辨率3D无损成像，分辨电极颗粒与孔隙、隔膜与空气等，可以大大简化流程，节省时间。

　　▲ 电池内部高分辨率成像(扫描完整样品 - 选择感兴趣区域 - 放大并进行高分辨率成像)来源：蔡司(使用蔡司 Xradia Versa 系列 X 射线显微镜测试)

　　在此基础上，蔡司推出的4D微观结构演化表征方法，可以获得更多信息，提供更微小的细节特征。

　　当需要进一步高分辨率分析时，新一代聚焦离子束扫描电镜(FIB扫描电镜)技术成为首选。FIB结合SEM，允许样品在纳米级别进行精细加工和观察。蔡司已推出相关显微镜产品。