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春节假期归来 你的扫描电镜做好准备了吗

   假期归来,面对实验室内许久未见的电镜“伙伴”们,迫不及待的你是否早已摩拳擦掌,跃跃欲试?别着急,与蔡司君一起花几分钟了解扫描电子显微镜的复工开机准备!

蔡司扫描电镜

  设备开机前准备

  蔡司钨灯丝电镜EVO开机流程

  ✓确认UPS正常供电,房间温度20~24度,湿度小于65%

  ✓打开电镜主机背面下方的空气开关(此时正面Off红灯亮起)

蔡司扫描电镜

  ✓按Standby黄灯亮起,等待1分钟后,再按On绿灯亮起

蔡司扫描电镜

  ✓打开电脑后打开SmartSEM,等到system vacuum读数小于1.3e-004 mbar

  ✓点击Beam On按钮,此时可以看到电子图像

  ▪蔡司场发射电镜开机流程

  ✓确认UPS正常供电,房间温度20~24度,湿度小于65%

  ✓打开水冷箱,调节水压,观察水流应该在1~1.7L/min之间,水压小于3bar,等待水温达到设定值18 ~ 22度

  ✓打开空压机,等待输出压力稳定到5~6 bar

  ✓打开电镜主机背面空气开关(此时正面Off红灯亮起)

  ▲Sigma扫描电镜系列

蔡司扫描电镜

  ▲Merlin/GeminiSEM系列

  ✓按Standby黄灯亮起,等待1分钟再按On绿灯亮起

  ✓ 打开电脑,随后打开SmartSEM和gun monitor,确认system vacuum在2e-005mbar至5e-005mbar时,逆时针拧开(拧到头)下级离子泵手阀(如果只有一个离子泵就打开仅有的一个手阀)

  ✓等待gun vacuum出现并小于5e-006mbar时关闭手阀

  *注意:如果Sigma300/500 VP,Merlin Compact VP等带VP的机型有2个离子泵,则无需关闭

  ✓拔掉gun head

  *提示:有些新机型是不需要拔的,具体参考装机时的培训

  ✓在SmartSEM侧边栏找到Bakeout选择overnight点Start。12小时后,关闭手阀(假如之前没有关)

  ✓烘烤完成后gun vacuum小于3e-009mbar,system vacuum小于1e-005mbar,点Gun on,完成后电镜就可以正常使用了

  各位小伙伴如果在复工过程中遇到任何问题,欢迎在线咨询留言,蔡司君将为你一一解答!