中国科学技术大学理化科学实验中心新购置的蔡司GeminiSEM 450场发射扫描电子显微镜已于近期安装完毕。本仪器配备Gemini2双聚光镜电子光学镜筒，可在低束流的高分辨率成像与高束流的分析模式之间进行无缝切换，为各种不同应用提供全方位的适用性和灵活性。可观察物体二次电子像、背散射电子像，同时可进行X射线能谱分析和背散射电子衍射分析。

　　1. 固体物质表面形貌观察

　　观察样品时可不喷金或者少喷金，可广泛应用于生物、物理、化学、纳米材料、金属材料、高分子材料等方面的表面形貌观察、粒度测量、集成电路质量检验、断口分析、失效分析等。

　　2. 背散射电子像(BSE)

　　背散射电子像可显示出试样微区原子序数或化学成分的差异，即试样的成分衬度。根据背散射电子像的亮暗程度，可判别出相应区域的原子序数的相对大小，由此可对陶瓷、金属或合金等材料的显微结构进行分析。

　　3. X射线能谱(EDS)

　　配备牛津Aztec系列X射线能谱仪，分析元素范围5B ～92U,可对固体物质进行微区元素成分分析，适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。

　　4. 背散射电子衍射(EBSD)

　　BSD可测定晶体材料的晶体结构和取向，用于研究材料的微观组织结构和织构，已成为材料研究中一种有效的分析手段。目前EBSD技术的应用领域包括：工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石——以研究各种现象，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能(成型性、磁性等)、界面性能(腐蚀、裂纹、热裂等)、相鉴定等。

　　仪器主要技术指标：

　　二次电子像分辨率：0.7nm @15kV, 1.1nm@1kV(非样品台减速模式下);分析分辨率：2.0 nm @ 15 kV(≥5nA);

　　能谱仪：分辨率(MnKa)127eV，分析元素范围：5B～92U

　　电子背散射衍射仪(EBSD)：相机分辨率：1344*1024像素，角分辨率：0.05度，最大速度：100Hz

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