三坐标测量机测量数据有时也会在测量上产生误差，即使是高端的蔡司三坐标也会产生一定的误差范围。首先我们知道三坐标测量机的静态或准静态误差主要由几何误差，构件有限刚度造成的误差和热误差3部分构成。往往采取误差修正的方法来减小静态或准静态误差。

　　其次除了静态或准静态误差外，三坐标测量机测量结果的精度还受到动态误差的影响。测量机速度的加快使动态误差对测量结果的影响更大。

　　然后我们对三坐标测量机的结构作了具体分析，用电感测微仪进行了动态偏转角误差的测量，并推导出由动态偏转误差得到测头处的动态位移误差的方法。同时，对由导轨的直线度造成的误差进行了讨论。指出动态误差主要是由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的。

　　最终我们得出结论：三坐标测量机的动态误差主要是由各构件绕气浮导轨连接处的偏转和各运动构件本身的弯曲变形造成的。当测量速度较低时，这一误差往往很小，可以忽略不计。当测量速度较高时，尤其在高速扫描测量中，这一误差对测量结果影响较大。在对动态误差的实验研究中，往往测量各构件绕气浮导轨连接处的偏转角误差是比较容易而且可行的。各构件的动态偏转误差综合起来，成为测头位置处的动态位移误标测量机坐构，得到动的具体结差。因此，要针对三态偏转误差和测头处的动态位移误差的转换关系。运用本文提出的方法，可以方便地估计三坐标测量机动态误差的大小。在三坐标测量机的设计和测量方案的优化中都有很大作用。

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