ZEISS三坐标测量机最重要的组成部分之一就是探头系统，ST探头使用ZEISS专利探触技术，（英国的RENISHAW探头系统被世界上多数三坐标厂家所使用，极为少数的有实力的工厂会使用自己开发的更好的探头系统）运用双触发原理，能使探头的触力大大降低，增加探头的使用年限，并且探触的准确性能得到大大的提高；该款设备具有探针自动更换装置(更换架），并且能够显著的提高机器测量的效率，实现了探针么系统的自动更换；ZEISS探针自动更换系统的先进之处就在于探针在自动更换的过程中，无需再次进行校准。

为了提高机器精度，Zeiss的探头系统均不采用旋转方式，用公式理解则为：UROT=1000*tgΔa*LEXT。UROT作为采用旋转探头时，由于探头自身在旋转定位误差而带来的机器精度不确定度，单位是um;Δa表示探头自身旋转时旋转重复定位误差；从探针球心到旋转探头旋转中心的距离是用LEXT来表示的。总的来说，旋转探头存在旋转进度误差UROT，所以最终机器精度是U3与UROT之和，这一精度很大。固定式探头是ZEISS对于高精度机器所使用的，旋转探头系统是在低精度的悬臂机器上使用的。

ZEISS三坐标测量机除了探头技术的创新之外，在材料选择方面也有其独特的优势。目前世界上采用陶瓷材料的只有ZEISS和LK！弯曲变形；扭曲变形；热膨胀是作为影响ZEISS三坐标测量机精度的主要因素。现在陶瓷材料是三坐标横梁和主轴最适用的材料，主要原因就是因为它的特殊性。

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